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什么是AMC以及相关要求

时间:2021-10-14 13:11:43 作者:小编 点击:

  AMC为Airborne Molecular Contaminants的缩写,从字面意义来看,是初始状态为气相。行为像单一分子的气态污染物,或者说是在环境中有能力沉降于材料表面形成单分子层薄膜的化学污染物,译为“悬浮分子污染物”或“气载分子污染物”。 

 

        简言之,AMC就是对产品或工艺设备及其流程有不良影响的非粒子状的悬浮化学污染物。 

 

        现在,在世界上的很多地方,外界空气中的臭氧、硫、氮氧化物、可挥发性有机物(VOC)的含量足以对 无尘车间 造成影响。在城市中可以检测到足够浓度的汽车尾气和燃烧产生的硫和 氮氧化物,在沿海地区可以发现大气中的氯和硼,在农业活动中则会产生氨和有机胺。 

 

        AMC会对原料、工艺、最终产品、生产和机械设备产生不同程度的损害。 

 

        国际半导体设备和材料协会在SEMI F21-95,F21-1102中给出了AMC气体的分类体系。该标准适用于半导体业的洁净环境,指定了4个“标准范围”:酸(MA),碱(MB),冷凝物(MC),杂物(MD)。 

 

        每一类AMC分为五个等级。该标准采用的是FS-209E的术语1,10,100等,但不是单位体积的粒子数量,而是以pptM表示浓度。pptM单位是物质克分子量的缩写,表示亿万分之一摩尔。 

 

        ISO及其TC209技术委员会准备了悬浮分子污染物的ISO新标准,该标准的范围比SEMI标准更宽,其目标是涵盖所有对产品或工艺有危险的AMC,不仅适用于半导体生产,也适用于药品生产。